單電子電晶體陣列讓平行探測成真
- 上線日期：2008/11/21 上午 12:00:00
- 資料來源：奈米科學網
德國科學家利用單電子電晶體(single-electron transistor, SET)，製成針尖陣列，可用來平行探測樣品表面的電荷變化。此陣列元件能與一般的掃描探針顯微鏡搭配使用，因此研發它的斯圖加(Stuttgart)的團隊計畫利用此元件，來探討在半導體材料中的二維電子氣系統的特性。
馬克斯普朗克固態研究所(Max Planck Institute for Solid State Research)的Jochen Weber表示，針尖陣列可以讓科學邊家在進行與時間相關的實驗時，同時測量材料表面電位隨空間的變化。於由此元件是利用一般的半導體製程如電子術微影、蝕刻和蒸鍍等技術來製作，因此研究人員能進一步將其他電子元件直接製作在針尖旁，提升探針的效能。
為了取得樣品表面形貌的精確圖像，每根探針都必須具備相同的電學特性。經過蝕刻製程後，陣列基板以聚焦離子束(focus ion beam)轟擊，以便得到乾淨且平整的針尖。而單電子電晶體結構的製作，是在控制良好的超高真空環境中，經歷多次蒸鍍鋁和氧化製作而成。
在截至目前已經製作出來的數百個這種元件中，良率大約為60%。在相同陣列中運作的單電子電晶體，其阻抗的變動範圍約在兩倍之間，這個變化量已足以獲得有用的結果。詳情請見Nanotechnology 19, p.375301 (2008)。
原始網站: http://nanotechweb.org/cws/article/tech/36141
譯者:張倫瑋(清華大學電子工程學系)
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