Komatsu、Ushio拆夥 影響EUV光源開發？
- 上線日期：2011/4/29 上午 12:00:00
- 資料來源：電子工程專輯
日本的 Komatsu 和 Ushio 稍早前宣佈，已終止有關光源合資企業 Gigaphoton 的合作協議。 Komatsu 將從 Ushio 手中買下50%股權。未來 Gigaphoton 將成為 Komatsu 的全資子公司。而此舉會為EUV的未來投下何種變數仍有待觀察。
成立於2000年8月的日本Gigaphoton公司主要業務是開發、生產和銷售微影工具用的準分子雷射光源，是由Ushio和Komatsu合資成立的企業，雙方各握有50%股權。
包括 Cymer 、 Gigaphoton 、 Ushio 和其他業者都正在為下一代微影工具開發EUV光源。 Gigaphoton 採用雷射激發電漿型(LPP)戶方法，而Ushio則採取放電激發電漿型(DPP)方法。
現在，Gigaphoton和Ushio將在EUV光源市場中展開競爭。Cymer公司是LPP技術的推動廠商。在LPP方法中，電漿是透過在指定材料上收集強大的雷射束來激發，而DPP方法則是透過在電子間對大電流脈衝充電來激發電漿。
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