X-FAB推出MEMS感測器專用開放性平台
- 上線日期：2012/9/28 上午 12:00:00
- 資料來源：電子工程專輯
X-FAB Silicon Foundries發表首個為微機電系統(MEMS)三軸慣性感測器(3D inertial sensor)提供的開放性平台，一個可以直接從代工廠量產的製程。為了取得三軸慣性感測器的技術，客戶可提供本身的設計或者使用X-FAB研發夥伴的技術導入量產而無須耗時與昂貴的研發過程。X-FAB的開放性平台製程可以加快產品導入市場並保證慣性感測器的品質。
新型的微機電系統技術可適用於非常廣泛的應用領域，例如手機、消費與遊戲類產品、玩具、汽車、機器人、工業與醫療等使用三軸加速度計(3D accelerometers)、或陀螺儀(gyroscopes)。同一個製程可以生產單軸與雙軸的加速度計，而加速度計(accelerometer)和陀螺儀(gyroscope)亦可在同一個製程中整合在單一晶片上，以實現六自由度的慣性感測單元。
X-FAB的新技術具備高可靠度、單晶矽的慣性質量(inertial masses)與drive-combs、特有的埋層連接(buried contact)技術讓單一的金屬層可以完成複雜的金屬連接、還有低寄生電容與EMI防護。三軸慣性感測器的新製程補足了X-FAB於2003年所建立並已被客戶使用的單軸/雙軸慣性感測器、壓力感測器、與紅外線感應熱電堆(thermopile)的開放平台技術，其中還包含現成的2G、10G、100G的加速度計IP。
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