奈米機械扭力感熱器搖擺登場
- 上線日期：2013/6/3 上午 12:00:00
- 資料來源：奈米科學網
美國研究人員研發出一種新型奈米機械熱感測器，該裝置結合了微米大小的槳狀結構與奈米尺寸的支柱。此矽材扭力共振(torsional resonator)元件的製作採取一般科技廠相容的製程技術，由於對紅外光輻射極為敏感，因此非常適合作為新一代熱感應器及紅外光成像裝置。
扭力共振器基本上是一稱為微形槳(micropaddle)的矩形槳狀元件，並且藉由一對水平的細支撐柱連結至晶片結構上。當有外力施加於槳結構上時，元件會以一特徵頻率產生振動。此類共振器具有兩種振動方式：一是所謂的「扭動模式」(torsional mode)，微形槳會沿著柱軸前後扭動；另一則是「彎曲模式」(flexural mode)，微形槳如彈簧墊般垂直柱軸上下振動。
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