半導體元件微型化的下一場革命──NEMS
- 上線日期：2009/12/11 上午 12:00:00
- 資料來源：電子工程專輯
據新興晶片技術領域的專家表示，可說是微機電系統(MEMS)的“小表弟”的奈米機電系統(nanoelectromechanical systems，簡稱NMES)，雖然目前還沒沒無聞，但在未來可能成為半導體產業界的要角。
Sematech製造聯盟新興技術副總裁Raj Jammy指出，其中的一個理由是，成熟的MEMS技術已經為各種不同的感測器，在iPhone等新潮電子產品中的應用開拓了龐大新市場，不過MEMS是針對特殊應用的元件：「NEMS則能提供整套的潛在應用方案。」
NEMS被形容為MEMS與奈米技術的結晶；在美國國防部高等研究計劃署(Drapa)掌管NEMS研究的Dennis Polla表示：「如果某系統有一個關鍵機械零件或架構的尺寸小於1微米(micrometer)，並且能整合其他不同的零件，那就是NENS。」他指出，該單位認為NEMS技術就是「下一場微型化革命」。
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