安捷倫科技與史丹佛大學合作新型奈米元件
- 上線日期：2009/11/23 上午 12:00:00
- 資料來源：電子工程專輯
安捷倫科技(Agilent Technologies)日前宣佈與史丹佛大學合作進行一項研究計劃，目的在於結合掃描式探針顯微鏡(scanning probe microscope，SPM)與原子層沈積(atomic layer deposition，ALD)技術，以探索新型的奈米元件。
這項研究計劃將有助於快速製作出奈米元件的原型並量測其特性，就10nm以下的精細度而言是一大突破，可進行廣泛的應用。其重點在於整合ALD(可達到厚度為次奈米精確度的一種薄膜技術)與具有奈米級剖面解析度(lateral resolution)的SPM，以便將掃描式探針技術延伸應用在原型製作和元件製作上。
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