新聞訊息 - 中華民國微系統暨奈米科技協會

首頁新聞訊息 MIT研究人員用3D列印降低MEMS製造成本

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當今的微機電系統(MEMS)所使用的量產製造技術仰賴昂貴的半導體微影設備。因此，晶片的生產通常需要存在一個相當大的市場，才足以涵蓋某種特定元件的生產成本要求，以及實現商品化的可能性。

美國麻省理工學院(MIT)微系統技術研究室(Microsystems Technologies Laboratories)的研究人員日前展示幾種能以低成本打造MEMS的新方法，不僅可讓所生產的元件實現簡單的客製化，同時還利用一種桌上型的3D列印晶圓廠，為製造商提供一種全新的替代路徑。

這種製造MEMS的新途徑能夠實現一些數量較小的新感測器與元件；這些元件通常無法找到夠大的市場為其涵蓋使用傳統製程從IP到終端產品的完整開發與成本。