新聞訊息 - 中華民國微系統暨奈米科技協會

Welcome to NMA - Nanotechnology and Micro System Association
首頁 新聞訊息 MEMS半導體鼓

新聞訊息News

MEMS半導體鼓

  • 上線日期：2011/3/15 上午 12:00:00
  • 資料來源：CTimes

MEMS微機電技術越來越神奇！除了在矽晶圓上製作出機電結構外，現在更進一步能把音訊也整合在一起。日前，NIST展示了一款MEMS鼓，其直徑僅有15微米，100奈米厚，是用在量子資訊的實驗上，用以量測極精確的機電動態。相較於過去的奈米線技術，這種MEMS鼓在耐用性與精確度上都更佳優異。這項技術也被發表在Nature科學雜誌上。

<全文連結>

  • 相關附件:
BACK