新研發MEMS電晶體號稱能與CMOS電路整合
- 上線日期：2011/12/9 上午 12:00:00
- 資料來源：電子工程專輯
美國半導體研發聯盟機構Semiconductor Research (SRC)與康乃爾大學(Cornell University)合作發表一種微機電系統(MEMS)電晶體，並可提供給SRC聯盟成員採用，做為 CMOS 晶片上的時序(timing)解決方案。
這種 MEMS-JFET 元件是在矽晶振諧器(resonator)上製作一個接面電晶體(junction field-effect transistor，JFET)，同時提供放大與堅若磐石的機械性參考功能，以做為晶片上的通道選擇濾波器(channel-select filters)與振盪器(oscillator)。「我們相信此一研發成果，將促成射頻訊號源與矽晶片上其他CMOS電路的直接整合；」SRC元件科學資深總監Kwok Ng表示。
研究人員是利用傳統的CMOS製程將 MEMS 與 JFET 整合在絕緣上覆矽(silicon-on-insulator，SOI)基板上。在製程中，位於單晶矽振諧器下方的氧化物犧牲層會被蝕刻，使其懸浮；利用p-n接面進行換能(transducer)，可讓該種JEFT在某個依據懸浮MEMS振盪器面積來決定的頻率之下振盪。
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